简化蝇眼式光束均匀器  

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作  者:叶震寰[1] 楼祺洪[1] 董景星[1] 魏运荣[1] 李红霞[1] 

机构地区:[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,201800

出  处:《科技开发动态》2004年第10期41-42,共2页R&D Information

关 键 词:蝇眼式光束均匀器 准分子激光 透镜阵列 柱面镜 

分 类 号:TN248[电子电信—物理电子学]

 

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