Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究  

The experimental research of optimize manufacturing and procesing technique for IC on the taurus workbench

作　　者：侯国宪[1] 李惠军[2] 赵国庆[1] 

机构地区：[1]河北理工学院冶金系,河北唐山063009 [2]山东大学信息科学与工程学院,山东济南250100

出　　处：《河北理工学院学报》2004年第3期53-56,70,共5页Journal of Hebei Institute of Technology

摘　　要：介绍了集成电路虚拟工厂系统TaurusWorkbench。并基于CMOS工艺的特点,在TaurusWorkbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究,结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法。The paper introduces integrated simulation system the'virtual factory' Taurus Workbench.Based on process characteristics of CMOS,experiment for optimization of key core parameters for submicron n-channel MOS devices on the Taurus Workbench is discussed.Results from the experiment show that the new process conditions help to improve the device performance.

关 键 词：TAURUS workbenehyong IC制造加工工艺 阈值电压 优化 仿真 集成电路虚拟工厂 

分 类 号：TN492[电子电信—微电子学与固体电子学]