微电磁继电器的结构设计和仿真分析  

Design and Simulation of Electromagnetic Microrelay

作　　者：李德胜[1] 周煜[1] 李浩群[1] 

机构地区：[1]北京工业大学微机电研究中心,北京100022

出　　处：《微细加工技术》2004年第3期50-54,共5页Microfabrication Technology

基　　金：国家863MEMS重大专项资助项目(2003AA404140)

摘　　要：介绍一种微电磁继电器的结构和工作原理。应用ANSYS软件对这种微继电器的蟹脚型悬臂梁进行静力学和动力学性能分析,得到结构参数对其机械性能影响的关系曲线,初步确定该结构的模型。仿真结果表明,在工况相同的情况下,它的最大位移量随梁厚、梁宽的增大而减小,随梁胫、梁股的增大而增大,一阶模态频率随这些参数的变化正好相反。此法也适于对其它类型悬臂梁的分析。No abstract available

关 键 词：微电磁继电器 蟹脚型悬臂梁 仿真分析 非线性 

分 类 号：TM58[电气工程—电器]