IEEE和SEMI签署了一项关于共同制定纳米技术和微电子机械系统标准的协议  

出　　处：《电子工业专用设备》2004年第7期45-45,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：加州圣何赛，2004年6月7日-SEMI和IEEE签署了一项关于合作项目的谅解备忘录，该项目旨在创建纳米技术和微电子机械系统(MEMS)标准。此协议的签订标志着协议双方的首度标准协调合作。

关 键 词：IEEE SEMI 纳米技术 微电子机械系统 标准 

分 类 号：F407.63[经济管理—产业经济]