硒化锌晶体加工工艺研究  被引量:15

STUDY ON PROCESSING TECHNOLOGY OF ZnSe CRYSTAL

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作  者:张玉兰[1] 卢利平[2] 臧春和[2] 李永亮[1] 王英伟[2] 李长江[1] 朱忠丽[2] 孙晶[2] 

机构地区:[1]长春理工大学光学加工中心,长春130022 [2]长春理工大学材料科学系,长春130022

出  处:《硅酸盐学报》2004年第5期612-615,共4页Journal of The Chinese Ceramic Society

基  金:兵器工业集团公司资助项目(20031)。

摘  要:根据硒化锌(ZnSe)晶体材料的性能特点,在大量试验的基础上,探索出了一套实用的、行之有效的ZnSe晶体的整盘等厚加工工艺。加工中采用双氧水溶剂浸泡Al2O3抛光剂,软化了Al2O3磨料。结果表明:该工艺技术有效地提高了ZnSe晶体零件的表面光洁度,保证了同心度,对于实际生产有一定的推广应用价值。A novel and effective processing technology with which same thickness of ZnSe crystal pieces can be processed on grinder with whole plate was introduced based on the features of ZnSe crystals and lots of experiments. While processing with this technology, the polishing powder Al2O3 was soaked in hydrogen peroxide solution to make them soften. The results show that the finished ZnSe crystal pieces have higher surface smoothness and better concentricity. It is shown that this technology has a relative practical value.

关 键 词:硒化锌晶体 表面光洁度 晶体加工 

分 类 号:O736[理学—晶体学]

 

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