Ni扩散LiNbO_3脊形波导MZ调制器的制作技术  

作　　者：张瑞君[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第44研究所,重庆400060

出　　处：《集成电路通讯》2004年第2期32-34,共3页

摘　　要：最近几年，宽带光通信系统已成为开发热点，并大大促进了高速集成光学器件的研究与发展。LiNbO3电光调制器由于有带宽较宽、可抑制啁啾性能、波长独立性等优点，是宽带光通信系统必不可少的器件。目前LiNbO3调制器已取得很大进展，但由于LiNbO3具有高介电常数。

关 键 词：Ni扩散LiNbO3脊形波导 MZ调制器 湿法腐蚀 自对准 

分 类 号：TN761[电子电信—电路与系统]