微机械元件表面形貌的测量  

作　　者：Frank.,G 大舟 

出　　处：《光机电世界》1993年第5期9-11,共3页

关 键 词：微机械元件 表面形状 粗糙率 测量 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]