微机械元件

作品数:15被引量:25H指数:3
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相关机构:罗伯特·博世有限公司卡文迪什动力有限公司中国科学院浙江大学更多>>
相关期刊:《清华大学学报(自然科学版)》《光学精密工程》《中国商界》《科技信息》更多>>
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微机械元件和仪器新进展
《卷宗》2015年第5期366-366,共1页黄炎琴 朱奕盈 胡鹏磊 王红运 
微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点,近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。
关键词:机械元件 仪器 大批量生产 市场扩大 微机械 集成度 
一种微机械有限元仿真的多重网格预处理方法
《中国惯性技术学报》2011年第1期84-90,共7页万蔡辛 李丹东 梁新建 
国防科技重点预研项目(51309050502)
在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率。针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将二维多重网格方法融入条件共轭梯度法的预处理的方法。并以一...
关键词:多重网格方法 有限元 预处理 微机械元件 
微米尺度下机械元件疲劳损伤行为与寿命预测研究
《机械工程学报》2010年第20期191-191,共1页
1项目负责人及所在单位:尚德广,北京工业大学 2起止年限:2006年1月~2008年12月 3项目简介 MEMS产品在汽车、航空航天、医疗器械等诸多领域得到了广泛的应用。本项目以微机械结构中常用的薄膜型微机械元件为研究对象,在微米范围内...
关键词:微机械元件 微米尺度 疲劳性能 寿命预测 损伤行为 北京工业大学 项目负责人 微机械结构 
博世德国微型芯片工厂开工投产
《汽车与配件》2010年第14期15-15,共1页
2010年3日,博世在Reutlingen新建的一家8英寸晶圆加工工厂开工投产。这座新建的工厂总投资额达6亿欧元,将生产半导体和微机械元件,是博世集团有史以来金额最大的单笔投资。
关键词:工厂 微型芯片 投产 德国 微机械元件 投资额 半导体 晶圆 
我国混凝土机械现状与发展趋势
《中国商界》2008年第3期224-224,共1页祁笑楠 
微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点,近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。
关键词:混凝土机械 微机械元件 大批量生产 集成度 仪器 性能 体积 市场 开发 成本 
微机械元件及仪器新进展态势研究
《中国高新技术企业》2007年第14期69-70,77,共3页陆永刚 
微电子技术的发展。为通讯、信息处理和生产、生活及办公自动化等领域带来了巨大的进步。使人类的生活方式、思维方式和社会的产业结构发生了巨大的变化.将人类带人了信息时代。
关键词:微机械元件 仪器 生活方式 微电子技术 办公自动化 信息处理 信息时代 产业结构 
MEMS光开关的控制
《电子元器件应用》2006年第7期40-41,48,共3页
关键词:MEMS光开关 控制电路 微机电系统 光学应用 微型执行器 MICRO MOEMS 光电子系统 微机械元件 
微机械生产发展的前景分析
《科技信息》2006年第04X期34-34,共1页廉峰 
微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产。具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了啦进展。展现了美好的前景。
关键词:微机械仪器 生产发展 微机械元件 大批量生产 成本低 集成度 
智能凝胶微机械元件的设计研究被引量:3
《功能材料与器件学报》2003年第3期351-354,共4页温淑鸿 陈莉 
国家自然科学基金资助项目(No.20174027)
在研究PAMPS凝胶、PNIPAM凝胶合成实验和分析其体积变化的基础上,设计了几种微机械元件,说明了它们的工作原理,为基于智能凝胶的微机械元件的设计做了一些工作。
关键词:微机械元件 智能凝胶 设计 PAMPS凝胶 PNIPAM凝胶 高分子材料 
一种静电驱动微机械元件的结构模型被引量:5
《清华大学学报(自然科学版)》2002年第11期1466-1468,共3页殷玲 陈非凡 李云龙 
国家自然科学基金资助项目(69978008);教育部高等学校骨干教师资助计划资助项目
静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动的微机械元件(微梁)作为可编程光栅的基本结构元件,并以ANSYS软件的有限元分析为依据,对其结构模型作较...
关键词:微机械元件 结构模型 可编程相位光栅 微机电系统 有限元分析 静电驱动 驱动性能 
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