MEMS光开关的控制  

出　　处：《电子元器件应用》2006年第7期40-41,48,共3页Electronic Component & Device Applications

关 键 词：MEMS光开关 控制电路 微机电系统 光学应用 微型执行器 MICRO MOEMS 光电子系统 微机械元件 

分 类 号：TN929.1[电子电信—通信与信息系统] TN949.7[电子电信—信息与通信工程]