微机械生产发展的前景分析  

作　　者：廉峰[1] 

机构地区：[1]鸡西大学,黑龙江鸡西158100

出　　处：《科技信息》2006年第04X期34-34,共1页Science & Technology Information

摘　　要：微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产。具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了啦进展。展现了美好的前景。

关 键 词：微机械仪器 生产发展 微机械元件 大批量生产 成本低 集成度 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]