万蔡辛

作品数：8被引量：17H指数：3
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供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
发文主题：微机电系统加速度计微加速度计微机械加速度计电容式微加速度计更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术理学更多>>
发文期刊：《中国惯性技术学报》《清华大学学报（自然科学版）》《导航与控制》《现代导航》更多>>
所获基金：国防科技技术预先研究基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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一种微机械有限元仿真的多重网格预处理方法
《中国惯性技术学报》2011年第1期84-90,共7页万蔡辛 李丹东 梁新建 
国防科技重点预研项目(51309050502)
在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率。针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将二维多重网格方法融入条件共轭梯度法的预处理的方法。并以一...
关键词：多重网格方法 有限元 预处理 微机械元件 
双端音叉式硅微谐振器的电修调被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2010年第11期1798-1800,共3页胡淏 董景新 万蔡辛 曹宇 
国家“十一五”预研项目(51308050208)
双端音叉式硅微谐振器在制造过程中的误差会造成两根振梁谐振频率存在差异,这种差异严重降低了双端音叉式硅微谐振器的品质因数,进而造成传感器精度降低等问题。该文利用电容式传感器存在静电负刚度效应的原理,采用改变直流预载电压的...
关键词：双端音叉 微机电系统 谐振器 谐振频率 品质因数 
硅微谐振式加速度计2种谐振结构比较被引量：4
《清华大学学报（自然科学版）》2010年第11期1825-1828,共4页董景新 曹宇 万蔡辛 胡淏 
国家"十一五"预研项目(51308050208)
硅微谐振式加速度计多采用双端固定音叉(DETF)作为谐振结构,而传统的单根振梁结构也具有其独特优势。该文通过理论分析、有限元仿真和实验验证,给出了2种谐振结构的比较结果:单根振梁结构的标度因数约为DETF的1.76倍;随着工作环境气压...
关键词：微机电系统 硅微谐振式加速度计 谐振结构 双端固定音叉 标度因数 机械品质因数 
硅微谐振式加速度计技术现状及展望被引量：3
《导航与控制》2010年第2期72-79,共8页万蔡辛 李丹东 张承亮 陈效真 
硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广泛研究。本文对硅微谐振式微加速度计的发展现状进行了评述。根据国内外不同的技术实现,诸如工作原理、微...
关键词：微机械 惯性传感器 加速度计 谐振 
微机械加速度计校正电路的工程设计
《现代导航》2010年第1期13-16,共4页胡淏 董景新 万蔡辛 
梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器，通过静电力反馈构成力平衡式的闭环系统。为了满足稳定性、快速性等要求，需要采用校正电路。微机械表头性能具有较大的离散性是工程中的常见问题。本文根据控制理论结...
关键词：微机械加速度计 校正电路 PI校正 冗余设计 
静电力反馈微加速度计的模拟控制器优化被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2009年第11期1779-1782,共4页万蔡辛 董景新 刘云峰 胡淏 
国家“十一五”科技预研项目(51309050208)
静电力反馈微加速度计在突然受较大加速度冲击后出现振荡失效,严重影响工作可靠性。为查明失效原因、优化设计以保证全工作范围内稳定性,研究了系统动特性随外界加速度的变化。将静电刚度引入以分析失效原因,并根据分析结果提出模拟控...
关键词：微加速度计 非线性系统 静电力 控制器 
大冲击后力反馈微加速度计吸合失效与防止被引量：5
《中国惯性技术学报》2007年第5期615-619,共5页万蔡辛 董景新 刘云峰 
国防科技重点预研项目(51309050809)
冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使正常工作时敏感质量仅在平衡位置附近有微小位移的状况下成立的负反馈闭环系统模型不再适用,敏感质量的受控特性可能变为正反馈,...
关键词：微机电系统 加速度计 冲击 吸合失效 可靠性 
微机械加速度计失准角的精确测量被引量：4
《中国惯性技术学报》2007年第2期233-236,共4页胡淏 董景新 吴黎明 万蔡辛 
总装预先研究项目(51309050809)
在与国家军用标准测试方法对比分析的基础上,由空间解析几何理论建立了微机械加速度计外壳坐标系和敏感部件坐标系的数学模型,提出一种测量失准角的“六位置法”:利用六面体翻滚,测量加速度计在六个不同位置下的输出电压,通过一系列公...
关键词：微机械加速度计 失准角 标度因数 测量 敏感轴 
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