第9届ULSI多层互连会议概述  

作　　者：武国英 

出　　处：《国际学术动态》1993年第1期42-44,共3页International Academic Developments

关 键 词：集成电路 多层互连 

分 类 号：TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]