常用真空计的测量范围及其性能  

General survey of some vacuum gauges

作　　者：王逊[1] 

机构地区：[1]北京大学电子学系,北京100871

出　　处：《真空》2004年第4期47-48,共2页Vacuum

摘　　要：介绍几种测量范围为 10 - 8～ 10 5Pa的常用真空计 ,其应用十分广泛 ,性能较好 。Some kinds of vacuum gauges are described here, which are widely used in a pressure range of 10^(-8)～10~5 Pa.

关 键 词：真空计 测量范围 性能 热阴极电离真空计 电容薄膜真空计 热电偶真空计 电阻真空计 

分 类 号：TB771[一般工业技术—真空技术]