真空计

作品数：332被引量：389H指数：9
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相关机构：兰州空间技术物理研究所中国科学院兰州物理研究所中国科学院北京东方计量测试研究所更多>>
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基于4H-SiC的差分电容真空计设计及仿真
《测试技术学报》2025年第2期211-217,共7页李鑫浦 张姝 雷程 张臻昊 李志强 余建刚 梁庭 
国家重点研发计划资助项目(2023YFB3208500);山西省重点研发计划资助项目(2023020302010);中央引导地方科技发展资助项目(YDZJSX20231B006)。
针对高温、腐蚀等复杂条件下的真空测试需求,提出了一种基于4H-SiC为敏感材料且可批量制造的微型化差分电容式真空计。通过有限元仿真分析,研究了力学敏感结构、电容结构等对传感器灵敏度及非线性度的影响。传感器敏感单元由圆形敏感膜...
关键词：薄膜真空计 4H-SIC 差分电容 有限元分析 
MEMS电容薄膜真空计微电容检测系统的设计被引量：1
《真空与低温》2024年第6期603-609,共7页高青松 郭朝帽 陶院 杨雷 马动涛 张虎忠 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)。
为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,...
关键词：MEMS 电容薄膜 真空计 微弱电容 电子测量 
光学压力计的标定及应用
《真空与低温》2024年第5期467-472,共6页聂中梁 王新广 王进 杨远超 胡常乐 孙羽 胡水明 
中国科学院先导科技专项(XDC07010000);中央高校基本科研业务费专项资金(WK9990000105)。
搭建了基于光学谐振腔的气体压力测量装置,即光学压力计。使用测量不确定度为0.001 1%(k=1)的活塞压力计,对两套独立的光学压力计进行标定,并对光学压力计的测量不确定度进行了系统的分析与评定,最终得到其压力测量的合成标准不确定度...
关键词：真空计量 压力计 Fabry-Perot腔 气体折射率 
基于锁定放大技术的真空度检测系统
《现代电子技术》2024年第20期33-38,共6页谭金博 于占东 
国家自然科学基金面上项目(61673071);2023年辽宁省教育厅高等学校基本科研面上项目(JYTMS20231630)。
针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理...
关键词：电阻真空计 真空度检测 锁定放大技术 交流定温电桥 XC866单片机 参数自整定 
冷原子量子真空计量技术综述
《工业计量》2024年第4期101-106,共6页付政伟 杨水旺 苏一鸣 张琦 
激光冷却和囚禁原子技术的发展,使得基于冷原子测量真空度的计量方法的测量范围可达10^(-4)~10^(-9)Pa,乃至更低。此外,该方法中仅仅只有冷原子本身及气体的碰撞截面两因素会影响冷原子的损失率。因此,基于冷原子的量子真空计量技术有...
关键词：冷原子 真空计量 量子计量技术 碰撞损失率 
标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2024年第5期394-400,共7页朱冠卿 邹鹏飞 毕海林 王旭迪 谢斌平 董金奎 曹青 
国家重点研发计划项目(2023YFF0717200);国家自然科学基金青年基金项目(62101172)。
目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其...
关键词：真空测量 磁控管真空计 微型化 
皮拉尼真空计在钢瓶气充装防爆区的正压设计
《电气防爆》2024年第2期9-13,共5页黎宪扬 
对测量高真空皮拉尼真空计应用在压缩钢瓶气充装工厂防爆区域的设计上做了可行性研究。
关键词：皮拉尼真空计 真空测量 可燃气体 正压防爆 
基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究
《真空科学与技术学报》2024年第4期312-317,共6页阴怡媛 李得天 张虎忠 马卓娅 习振华 李刚 张开旭 宋云见 
国家自然科学基金项目(62171208);国家重点研发计划项目(2023YFF0717200)。
文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计,通过结构和电参数优化,研制了样机,并开展了样机计量特性的实验研究,研究结果表明,新型电离规在6.87×10^(-6)Pa~6.45×10^(-5)Pa的压力范围内,灵敏度在0.200 Pa^(-1)~0.245 Pa^(-1)的范围...
关键词：碳纳米管电子源 电离真空计 灵敏度 
真空计量的量子化研究进展被引量：1
《真空》2023年第6期9-14,共6页郑一鸣 王旭迪 吴俊 
欧洲计量创新与研究计划(EMPIR)的量子帕斯卡(Quantum Pascal)项目旨在开发基于光子的真空计量标准,以将压力的国际制单位(Pa)转换为气体密度单位。该项目的主要研究方向包括折射率法、吸收光谱法和冷原子法等基于光学方法的量子真空标...
关键词：真空计量 量子真空 折射率法 冷原子 吸收光谱法 
BSRF软X射线实验站真空联锁保护优化设计
《中国科学院大学学报（中英文）》2023年第5期677-686,共10页李嘉良 刘树虎 尚从建 王斐 
中华人民共和国财政部(Y41G103)资助。
北京同步辐射装置(BSRF)4B7B软X射线实验站为超高真空系统,与上游光束线通过电磁插板阀连接。用户在实验中换样易发生失误操作行为,在未关闭阀门状态下,给真空系统放气,损坏仪器设备。为避免造成真空事故,提出对原手动保护措施进行优化...
关键词：同步辐射实验站 继电器控制 真空计 联锁保护系统 
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