电容薄膜

作品数：31被引量：50H指数：5
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MEMS电容薄膜真空计微电容检测系统的设计被引量：1
《真空与低温》2024年第6期603-609,共7页高青松 郭朝帽 陶院 杨雷 马动涛 张虎忠 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)。
为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,...
关键词：MEMS 电容薄膜 真空计 微弱电容 电子测量 
接枝聚丙烯电容薄膜的高温储能特性被引量：2
《中国电机工程学报》2024年第9期3371-3377,I0002,共8页罗兵 李君洛 王少杰 胡世勋 徐永生 肖微 徐刚毅 何金良 李琦 
特高压工程技术(昆明、广州)国家工程实验室开放基金(NELUHV-2021-KF-03)。
随着海上风电、电动汽车和油气勘探的迅速发展,对薄膜电容器的工作温度提出更高的要求。然而,当环境温度达到120℃时,目前使用最为广泛的双向拉伸聚丙烯电容薄膜充放电效率急剧下降,不能满足应用需求。该文制备了苯乙烯接枝聚丙烯(PP-g-...
关键词：接枝聚丙烯 双向拉伸薄膜 薄膜电容器 高温 介电储能 
电容薄膜真空规校准方法的研究
《中国仪器仪表》2023年第2期34-37,共4页刘贝贝 刘燚 蒋厚庸 周宇仁 
基于真空衰减法的阳性样品校准装置的研制(E00RY2210)
本文利用电容薄膜真空计校准装置、高精度数字压力计、稳压电源和数字多用表,采用比较法完成了对(1~1000)Torr绝压电容薄膜真空规的量值溯源,扩展不确定度为U=(0.69%~0.02%)(k=2)。
关键词：电容薄膜真空规 数字压力计 数字多用表 
基于Au-Si共晶键合的高灵敏MEMS电容薄膜真空规设计
《真空与低温》2021年第1期38-44,共7页柯鑫 韩晓东 李得天 成永军 孙雯君 许马会 李刚 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)。
为了解决真空腔电极引线导致的真空漏气,进一步拓展真空规的测量下限,提出了一种基于Au-Si共晶键合的绝压式MEMS电容薄膜真空规设计方案。阐述了该新型MEMS电容薄膜真空规的制作工艺流程、用浓硼掺杂法制备感压薄膜技术,采用阳极键合协...
关键词：MEMS 电容薄膜真空规 Au-Si共晶键合 浓硼掺杂 
感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响被引量：2
《真空与低温》2021年第1期52-56,共5页贾春旺 陈叔平 成永军 孙雯君 裴晓强 孟岳 金树峰 杨雯 赵高逸 
国家自然科学基金项目(61971209)。
电容薄膜真空规中感压膜片在安装时通常须先施加预张力,再固定。为研究感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响,以现有电容薄膜真空规为对象,基于COMSOL Multiphysics软件,建立有限元模型,得到了不同预张力下输出电容的仿真解,...
关键词：电容薄膜真空规 感压膜片 预张力 有限元分析 输出电容 
电容薄膜真空计校准装置的研制被引量：1
《中国仪器仪表》2020年第9期77-80,共4页刘贝贝 张书令 许红 
介绍电容薄膜真空计校准装置的研制过程,采用静态膨胀法原理,其测量范围为(1×10^(-1)~1×10~4)Pa,相对扩展不确定度为(0.22%~0.06%)(k=2)。装置体积比采用原位法进行测试,各体积比相对标准不确定度为0.02%。
关键词：静态膨胀法 电容薄膜计 体积比 真空校准 
差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试被引量：6
《真空与低温》2020年第1期17-20,共4页李刚 韩晓东 李得天 成永军 孙雯君 柯鑫 冯勇建 许马会 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)
提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度...
关键词：MEMS技术 差压式 电容薄膜真空规 
环境温度对电容薄膜真空计修正因子的影响被引量：1
《中国标准化》2019年第10期184-185,共2页陈宇航 于红燕 王金库 
本文介绍了电容薄膜真空计的原理,对环境温度对电容薄膜规校准结果产生的影响,以及修正方法做了分析。
关键词：电容薄膜规 温度修正 
采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计被引量：3
《中国测试》2019年第1期88-93,共6页王呈祥 韩晓东 李得天 成永军 孙雯君 李刚 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805);五院CAST基金项目
感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力...
关键词：MEMS 电容薄膜真空规 高灵敏度 宽测量范围 
耐高温BOPP电容薄膜的开发和应用被引量：10
《电力电容器与无功补偿》2018年第1期62-64,共3页储松潮 常庆阳 吴建章 章胜 钟光余 曹道福 
结合电容薄膜常规性能测试,用热分析(DSC)方法测试了某公司开发的BOPP高温膜性能,并与国内外先进产品进行了对比。同时对该耐高温薄膜进行了一系列的交流电容器、电力电子电容器的验证试验,试验结果证明该耐高温薄膜性能优良。
关键词：耐高温BOPP薄膜 结晶度 电容器 
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