电离真空计

作品数：34被引量：31H指数：3
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基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究
《真空科学与技术学报》2024年第4期312-317,共6页阴怡媛 李得天 张虎忠 马卓娅 习振华 李刚 张开旭 宋云见 
国家自然科学基金项目(62171208);国家重点研发计划项目(2023YFF0717200)。
文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计,通过结构和电参数优化,研制了样机,并开展了样机计量特性的实验研究,研究结果表明,新型电离规在6.87×10^(-6)Pa~6.45×10^(-5)Pa的压力范围内,灵敏度在0.200 Pa^(-1)~0.245 Pa^(-1)的范围...
关键词：碳纳米管电子源 电离真空计 灵敏度 
基于碳纳米管电子源的计量级电离真空计数值模拟研究被引量：1
《真空与低温》2023年第3期243-250,共8页马卓娅 张虎忠 李得天 成永军 姚鹏 葛金国 阴怡媛 韩晓东 
国家自然科学基金(62171208)。
通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量,能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计,构建了物理模型,模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数,并分析了...
关键词：计量级电离真空计 碳纳米管电子源 灵敏度 结构设计 SIMION仿真 
超高真空计微弱离子流检测技术研究
《真空与低温》2023年第2期111-116,共6页姚鹏 李得天 张虎忠 葛金国 马卓娅 成永军 阴怡媛 
国家自然科学基金(62171208)。
在超高真空环境下,Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱,且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统,包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器,...
关键词：宽量程 微弱信号 超高真空测量 电离真空计 
热阴极电离真空计相对灵敏度数值计算与实验研究
《真空科学与技术学报》2022年第12期908-913,共6页葛金国 张虎忠 姚鹏 马卓娅 魏建平 成永军 
国家自然科学基金项目(62171208)。
电离真空计广泛应用于超高真空测量,是目前唯一实际可行的超高真空测量仪器。针对不同气体环境,真空规管的电离截面不同且对测量灵敏度产生显著影响,本文基于BEB电子碰撞电离截面模型和数值仿真算法,精确计算了真空规管电离区域内不同...
关键词：电离真空计 相对灵敏度 碰撞电离截面 多种气体 
10^(-9)~10^(-1)Pa宽量程电离真空计研制与性能研究被引量：1
《真空与低温》2022年第4期392-396,共5页张虎忠 葛金国 姚鹏 魏建平 成永军 孙雯君 习振华 马卓娅 马亚芳 李得天 
国家自然科学基金(62171208)。
热阴极电离真空计的压力测量范围可覆盖超高真空、高真空和中低真空,该真空计广泛应用于各类真空装备。依据电离真空计工作原理,对电离真空计的本底干扰离子流I_(r)^(+)进行了理论分析,讨论了气体分子热脱附、软X射线效应、ESD效应等多...
关键词：超高真空 真空测量 电离真空计 宽量程 灵敏度 
5项压力领域国家计量技术规范发布实施
《中国计量》2022年第7期9-9,共1页
近日,市场监管总局发布压力领域5项计量技术规范,分别为《双活塞式压力真空计检定规程》《电离真空计校准规范》《磁悬浮转子真空计校准规范》《陶瓷砖釉面抗龟裂蒸压釜压力参数校准规范》《卤素检漏仪校准规范》,将于2022年10月29日正...
关键词：计量技术规范 校准规范 电离真空计 卤素检漏仪 压力参数 检定规程 磁悬浮转子 陶瓷砖 
超高真空计研制及其计量特性研究被引量：4
《真空电子技术》2020年第4期63-68,共6页张虎忠 李得天 成永军 孙健 李刚 
国家自然科学基金项目(61601211,61671226,61627805,41904166)。
超高真空计广泛应用于超高真空环境下的精确压力测量,也是目前唯一实际可用的超高真空测量仪器。本文基于Bayard-Alpert原理研制了一种超高真空计,开展了电子运动轨迹的模拟仿真计算和实验研究,分析了发射电流对规管灵敏度值的影响。结...
关键词：超高真空 真空测量 电离真空计 灵敏度 真空校准 
新型同轴电极结构碳纳米管场发射电离计
《真空》2019年第6期12-15,共4页何剑锋 黄卫军 董长昆 
国家科学基金资助，项目号：61620106006
本文以碳纳米管(CNT)作为阴极电子源设计一种新型的冷阴极电离真空计结构,结构包括场发射电子源、阳极和离子收集极,阳极和离子收集极为同轴圆环结构。利用热化学气相沉积法在金属基底上直接生长碳纳米管,分别制备了4mm×5mm矩形和直径0...
关键词：碳纳米管 场发射 电离真空计 同轴电极 灵敏度 
热阴极电离真空计电参数校准装置电流源设计与仿真分析
《真空科学与技术学报》2019年第4期297-303,共7页邵壮 延峰 柏向春 董云宁 宋瑞海 魏萌萌 卢耀文 
针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析。装置适用于100MQ^100GQ负载条件,负载为1GQ时输出电...
关键词：电离真空计 校准装置 电参数 PSPICE仿真 
DL-8型高压强电离真空计的另一种高灵敏度状态
《物理实验》2018年第5期8-12,共5页王竞先 冉书能 荀坤 
通过数值模拟和实验证明,在取阴极电势低于50V且辅助极电势低于阴极电势时,DL-8型高压强电离真空计可获得与现有电极电势配置相当甚至更高的测量灵敏度.这一现象可以用新的电极电势配置下电场对阳极接近柱对称,使电子可以有更长的轨迹...
关键词：高压强电离真空计 灵敏度 电极电势 
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