电子束辐照下钛酸锶钡薄膜的子能量损失谱研究  

作　　者：饶杰[1] 朱静[1] 

机构地区：[1]清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室,北京100084

出　　处：《中国科学（E辑）》2004年第9期961-968,共8页Science in China(Series E)

基　　金：国家自然科学基金;国家973项目;清华大学985项目资助

摘　　要：实验发现在较高电流密度的电子束照射下(电流密度约为2nA/cm2),BST薄膜有辐照损伤现象发生.原位实时记录的Ti和O的电子能量损失电离边峰强度比和相对位移的变化表明:损伤过程主要表现为薄膜失氧及其导致的正离子化学价态的变化.具高空间分辨的电子能量损失谱研究证明:相对于具有完整晶体结构的柱状晶晶粒内部,有着特殊结构和化学环境的柱状晶晶粒边界是失氧的主要途径.

关 键 词：电子束辐照 钛酸锶钡薄膜 电子能量损失谱 辐照损伤 

分 类 号：TB43[一般工业技术]