光集成器件和MOEMS中硅基衍射器件的研究  

RESEARCH OF OPTICAL SENSER AND MOEMS

作　　者：陈殿伟[1] 才殿文 杨海英[3] 

机构地区：[1]吉林化工学院,吉林132022 [2]洮南一中,洮南137100 [3]吉林市第五中学,吉林132001

出　　处：《大学物理实验》2004年第3期34-37,共4页Physical Experiment of College

摘　　要：介绍了光集成器件和MOEMS中硅材料和衍射光学元件的应用 ,在此基础上分析了硅基衍射光学元件在光集成器件和MOEMS中的重要地位 ;描述了几种常见形态的硅基衍射光学元件 ,简单分析了难于获得垂直于硅基底的衍射光学元件的原因。This paper introduces the application of the optical sensor and MOEMS and gives some reasons of these sensors and intergrated optics as well.

关 键 词：光集成器件 集成光学 光电集成 微光机电系统 衍射光学元件 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]