光刻腐蚀法制作 位相滤波器实现图象对比度反转  

作　　者：李正明 刘有奇 

出　　处：《南开大学学报（自然科学版）》1989年第3期37-41,共5页Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Nankaiensis

关 键 词：位相滤波器 光刻法 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学]