光刻法

作品数：47被引量：65H指数：5
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光刻法制备正方薄片状粒子及其识别算法优化
《塑料》2024年第2期78-83,100,共7页朱嘉楠 柳华清 
国家自然科学基金(11874277)。
非球形胶体粒子在凝聚态物理、新型智能材料研发等领域均具有重要的研究价值,其中,正方薄片状胶体粒子由于具有形状简单、可周期性密铺、自组装形成的结构多样等特点,得到了广泛关注。采用光刻法制备了SU-8环氧树脂正方薄片状胶体粒子,...
关键词：正方薄片状胶体粒子 光刻 动力学 曲面 图像识别 SU-8环氧树脂 
基于无掩膜光刻法的纸基微流控芯片制备与验证研究被引量：2
《分析测试学报》2023年第9期1163-1167,共5页张严 朴林华 佟嘉程 马炫霖 刘珺宇 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市重点实验室开放课题资助项目(2023202109);北京信息科技大学促进高校分类发展项目(20230416);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2023202108)。
为了开发新的纸芯片制备技术制作高精度的纸基微流控芯片,该文提出了一种基于无掩膜光刻技术的新制备方法。以疏水图案的表面接触角和液体在微流控通道内的流动情况为评价标准,研究了曝光、显影等关键工艺对疏水区域疏水强度以及液体流...
关键词：无掩膜光刻 纸基微流控 微流控芯片 亚硝酸盐检测 
基于光刻法的复合织构硅橡胶表面的抗冰性能被引量：8
《中国激光》2022年第10期231-239,共9页赵美云 杨帆 张小龙 殷云辉 赵彦 赵新泽 
国家自然科学基金(52005292)。
制备超疏水表面是一种新型的抗冰方法。为提高硅橡胶复合绝缘子表面的抗冰性能,采用D80M多功能激光雕刻机进行加工,得到不同类型、不同尺寸参数的复合织构绝缘子伞裙表面。通过测试不同织构表面绝缘子的接触角,得到疏水性能最佳的表面...
关键词：激光技术 表面加工 激光雕刻 复合绝缘子 复合织构 超疏水表面 抗覆冰 
基于非光刻原理制备丝素蛋白/明胶有序图案化表面被引量：1
《表面工程与再制造》2019年第2期39-42,共4页常晶晶 林峻璋 黄薇蓁 陈三元 贺定勇 
构建具有微观形貌的表面,使其可以引导神经轴突定向生长是神经导管在治疗周边神经缺损中最重要的功能之一。利用工艺简单且成本较低的非光刻法可制备具有有序波纹图案的表面应用于引导神经轴突再生。研究发现,由丝素蛋白/明胶所组成的...
关键词：周边神经修复 表面工程 非光刻法 生医材料 
光刻法图案化石墨烯研究被引量：1
《液晶与显示》2019年第1期33-38,共6页吕志军 张锋 刘文渠 董立文 宋晓欣 崔钊 王利波 孟德天 
介绍了光刻法石墨烯的制备方法,分析了光刻工艺过后石墨烯方阻升高的不良机理,并给出了相应的优化方案。首先,根据半导体工艺研发制程完成石墨烯图案化工艺方案,并对工艺方案进行有效优化。接着,分析了石墨烯光刻法图案化后方阻升高的...
关键词：光刻 石墨烯 方块电阻 关键尺寸 
三光束激光干涉光刻法制备生物复眼表面微结构被引量：1
《吉林化工学院学报》2015年第11期50-54,共5页关会英 司玉兰 曹亮 梁志海 
许多生物复眼表面具有大视场、高时间分辨率、高反射率以及超疏水、防雾等优异性能,工程应用潜力巨大.仿生学研究表明,复眼表面微观结构对其特定功能的实现具有关键作用.本文利用三光束激光干涉光刻技术在单晶硅基底表面制备了仿腹色蜉...
关键词：表面仿生 复眼结构 激光干涉光刻技术 微纳米加工 
基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒被引量：1
《人工晶体学报》2015年第7期1748-1753,共6页丁彬 程现铁 徐国庆 张宏 
江苏省自然科学基金(BK20141215)
提出了一种用于大规模多晶硅太阳能电池生产的制绒工艺,采用负性光刻胶作为湿法刻蚀的掩膜,制备蜂巢状低反射率绒面。通过研究氢氟酸/硝酸溶液中各向同性刻蚀时腐蚀坑的形成过程,发现随着刻蚀时间的增加,在掩膜图形的开孔下逐渐形成六...
关键词：多晶硅太阳能电池 表面制绒 湿法刻蚀 光刻法 负性光刻胶 
激光干涉光刻法制备二氧化硅光子晶体抗反射膜被引量：2
《电子技术与软件工程》2014年第9期121-123,共3页陈辰 钟金祥 洪荣墩 
国家自然科学基金资助项目(No.61307047)(No.61176049)。
为了研究制备二氧化硅(SiO2)光子晶体抗反射膜,采用激光干涉光刻法与电感耦合等离子刻蚀(ICP)技术制备进行实验。激光干涉光刻法可实现灵活、快速制备大面积周期纳米结构,而ICP刻蚀具有良好的各向异性,扫描电子显微镜的图片(SEM)表明两...
关键词：非线性光学 激光干涉光刻法 光子晶体 ICP 刻蚀 
三维微结构的光致弯曲
《中国光学》2012年第2期201-201,共1页
美国麻省阿默斯特大学Ryan Hayward和Christian Santangelo研究小组的研究人员证明，利用半色调凝胶光刻法和紫外线，通过光转移可以将网点转移到平直的聚合物凝胶片上。凝胶随着温度的变化而膨胀、收缩。被转移的网点改变了溶胀量，导...
关键词：三维微结构 弯曲 光致 内部应力 研究人员 《科学》 紫外线 光刻法 
使用光刻法在金刚石台面制备金属薄膜电极被引量：2
《超硬材料工程》2012年第2期19-21,共3页赵庆娟 
金刚石对顶砧是实验室常用的产生流体静力学压力的装置,其核心部件是两颗对顶的金刚石。金刚石具有其它材料难以比拟的超高硬度和对电磁波的高透过率,所以金刚石压砧在高压研究中扮演着重要的角色。文章介绍一种光刻法在金刚石台面上制...
关键词：金刚石对顶砧 高压 流体静力学压力 金属薄膜电极 
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