陈辰

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
发文主题：ICP非线性光学光子晶体光刻法激光干涉更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《电子技术与软件工程》更多>>
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激光干涉光刻法制备二氧化硅光子晶体抗反射膜被引量：2
《电子技术与软件工程》2014年第9期121-123,共3页陈辰 钟金祥 洪荣墩 
国家自然科学基金资助项目(No.61307047)(No.61176049)。
为了研究制备二氧化硅(SiO2)光子晶体抗反射膜,采用激光干涉光刻法与电感耦合等离子刻蚀(ICP)技术制备进行实验。激光干涉光刻法可实现灵活、快速制备大面积周期纳米结构,而ICP刻蚀具有良好的各向异性,扫描电子显微镜的图片(SEM)表明两...
关键词：非线性光学 激光干涉光刻法 光子晶体 ICP 刻蚀 
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