微电机粗糙表面粘附仿真分析  

Rough surface sticking simulation analysis of micro-motor

作　　者：田文超[1] 贾建援[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学机电工程学院,陕西西安710071

出　　处：《传感器技术》2004年第10期33-34,40,共3页Journal of Transducer Technology

基　　金：国家"863"计划资助项目(2002AA862011)

摘　　要：针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面"截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据。'Sticking' affects the micro-motor performance and reliability greatly.The micro-motor rough surface 'truncate sphere type' sticking model is set up.On the basis of the Hamaker micro continuum medium revision theory,the sticking force mathematical model is derived, and followed by the simulation results with the fineness degrees of No.10, No.11 and No.12 class,thus the theoretical basis is provided for the structural design of the micro-motor.

关 键 词：微电机 粗糙表面 粘附力 微观连续介质修正理论 微电子机械系统 

分 类 号：TM301[电气工程—电机] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]