等离子体技术在印制电路板制造中的应用  

作　　者：毛晓丽[1] 

机构地区：[1]南京信息职业技术学院

出　　处：《电子电路与贴装》2004年第3期11-16,共6页Electronics Circuit & SMT

摘　　要：等离子体加工是在半导体制造中创立起来的一种技术。等离子体是指一种像紫色光、霓虹灯光一样的光，也被称为物质的第四相态。等离子体相态是由于原子中激化的电子和分子无序运动的状态，所以具有相当高的能量，其对于任何有机材料都具有很好的蚀刻作用，因此被应用到印制电路板的制造中来。

关 键 词：印制电路板 半导体制造 蚀刻 等离子体技术 灯光 有机材料 状态 等离子体加工 相态 色光 

分 类 号：TN41[电子电信—微电子学与固体电子学] TN405