微悬臂梁粗糙表面粘附建模分析  

Analysis of the micro-cantilever rough surface adhesion model

作　　者：田文超[1] 贾建援[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学机电工程学院,陕西西安710071

出　　处：《西安电子科技大学学报》2004年第5期749-752,共4页Journal of Xidian University

基　　金：国家863计划资助项目(2002AA862011);西安电子科技大学青年科研工作站基金资助项目

摘　　要：针对粘附严重影响微电子机械系统性能和可靠性问题,提出了一种微悬臂梁粗糙表面"截球型"粘附模型;根据Hamaker微观连续介质理论及空隙修正理论,推导出粘附力表达式;讨论了粗糙面凸峰对粘附力的影响,得到影响粘附力的主要原子是凸峰顶部少数几层原子的结论;仿真出光洁度等级分别为10级,11级和12级的镍悬臂梁粗糙面粘附力数值结果,为微悬臂梁的结构设计提供了理论基础.Stick affects the performance and reliability of the MEMS device greatly. The cutting-ball adhesion model of the micro-cantilever rough surface is set up on the basis of the three hypotheses. By the Hamaker micro continuum medium method and gap revision principle, the adhesion mathematical model is found. The adhesion simulation results are obtained, and followed by the discussion of the rough degree influence on adhesion.

关 键 词：粘附力 严重 影响 性问题 粗糙表面 理论基础 数值 微悬臂梁 粗糙面 微电子机械系统 

分 类 号：TN011[电子电信—物理电子学] R725.6[医药卫生—儿科]