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机构地区:[1]浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州310027
出 处:《材料导报》2004年第9期72-75,共4页Materials Reports
基 金:国家自然科学重点项目(批准号:50032010);浙江省自然科学基金(浙江省2001批准号:601092);中国博士后科学基金(批准号:2002031240)
摘 要:作为微电子领域最重要的半导体材料,硅的一维纳米结构在器件组装、纳米尺寸磁性器件、光电子等领域具有重要的作用,已经成为国际上材料科学研究的一个热点。从制备方法、应用前景等方面综述了国际上关于纳米硅丝和纳米硅管的研究进展,并提出今后的研究方向。As silicon is the most important semiconductor material in micro-electronic field,one-dimensional nano-structures of silicon play an important role in the fields of device assembly,nanometer-size magnetic device,photoelectronics,and have drawn wide interest in the world. Recent progress in the research on silicon nanowires and silicon nanotubes is reviewed,and the research will be done is suggested.
关 键 词:微电子 纳米硅 光电子 半导体材料 磁性器件 组装 纳米结构 研究进展 国际 综述
分 类 号:TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TN304[电子电信—物理电子学]
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