卢晓敏

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：纳米硅硅片表面化学清洗金属膜镀膜设备更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《材料导报》更多>>
所获基金：中国博士后科学基金浙江省自然科学基金国家自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
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网络状氮化硼纳米棒的生长研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2004年第6期445-447,共3页卢晓敏 汪雷 杨德仁 
国家杰出青年科学基金 (No.60 2 2 5 0 10)
利用等离子体增强化学气相沉积 (PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition ,PECVD)法在单晶硅片上生长了氮化硼 (BN)材料。扫描电子显微镜 (ScanningElectronMicroscopy ,SEM)图 ,能量分散谱 (EnergyDispersiveSpectrum ,EDS)和傅里叶红...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 纳米棒 氮化硼 PECVD 单晶硅片 网络 微米 傅里叶红外光谱 FTIR 薄膜 
一维硅纳米材料的研究进展被引量：3
《材料导报》2004年第9期72-75,共4页卢晓敏 汪雷 杨青 杨德仁 
国家自然科学重点项目(批准号:50032010);浙江省自然科学基金(浙江省2001批准号:601092);中国博士后科学基金(批准号:2002031240)
作为微电子领域最重要的半导体材料,硅的一维纳米结构在器件组装、纳米尺寸磁性器件、光电子等领域具有重要的作用,已经成为国际上材料科学研究的一个热点。从制备方法、应用前景等方面综述了国际上关于纳米硅丝和纳米硅管的研究进展,...
关键词：微电子 纳米硅 光电子 半导体材料 磁性器件 组装 纳米结构 研究进展 国际 综述 
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