反应离子镀光学薄膜的牢固度和表面粗糙度分析  

Abrasion Resistance and Surface Roughness of Optical Coatings by Reactive Ion Plating

作　　者：王建成[1] 韩丽瑛[2] 高健存[2] 

机构地区：[1]河南师范大学物理系,新乡453002 [2]清华大学现代应用物理系,北京100083

出　　处：《激光与红外》1993年第6期40-41,32,共3页Laser & Infrared

摘　　要：本文对反应离子镀和反应蒸发(电子束蒸发)工艺制备的光学薄膜的牢固度和表面粗糙度进行了检测,并将结果进行对比。We measured the abrasion resistance and surface roughness of optical coatings by reactive ion plating deposition and reactive evaporation (electron beam evaporation ). The results have been carefully compared.

关 键 词：反应离子镀 光学薄膜 表面粗糙度 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]