王建成

作品数:6被引量:2H指数:1
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发文主题:光学薄膜显微结构表面粗糙度ITO膜TIO更多>>
发文领域:理学电子电信更多>>
发文期刊:《光电子.激光》《光学学报》《激光与红外》《河南师范大学学报(自然科学版)》更多>>
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光学薄膜反应离子镀技术研究
《激光与红外》1994年第1期54-57,共4页王建成 韩丽瑛 高健存 
光学薄膜反应离子镀技术是近年来新发展的一种光学薄膜技术。本文介绍了光学薄膜反应离子镀设备的研制,在此设备上成功地制备了TiO2、ZrO2、SiO2、Al2O3光学薄膜,测出其折射率接近或达到同种块状材料的折射率;并对...
关键词:光学薄膜 反应离子镀 
反应离子镀制备ITO膜
《光学技术》1993年第5期21-22,共2页王建成 韩丽瑛 
采用反应离子镀新工艺成功地在K9玻璃上制备了ITO(Indium Tin Oxide)透明导电膜,所制备的ITO膜在550~600nm波长范围内,典型的峰值透过率为89%,面电阻为34Ω/□。
关键词:反应离子镀 透明导电膜 光电子技术 
反应离子镀光学薄膜的牢固度和表面粗糙度分析
《激光与红外》1993年第6期40-41,32,共3页王建成 韩丽瑛 高健存 
本文对反应离子镀和反应蒸发(电子束蒸发)工艺制备的光学薄膜的牢固度和表面粗糙度进行了检测,并将结果进行对比。
关键词:反应离子镀 光学薄膜 表面粗糙度 
反应离子镀光学薄膜的微观结构分析被引量:2
《光学学报》1993年第10期956-959,共4页王建成 韩丽瑛 高健存 
用反应离子镀方法制备了TiO_2单层膜及TiO_2/SiO_2多层膜,用透射电子显微镜分别观察了由反应离子镀方法及传统蒸镀法二种不同工艺制得的TiO_2单层膜及TiO_2/SiO_2多层膜的断面结构,并对TiO_2单层膜进行了喇曼分析和卢瑟福背散射分析.
关键词:反应离子镀 光学薄膜 显微结构 
光学薄膜的反应离子镀概述
《河南师范大学学报(自然科学版)》1993年第2期112-112,共1页王建成 王喜中 韩丽瑛 
光学薄膜反应离子镀技术是近10年来镀膜技术的最新突破,也是当今国际薄膜界研究的热点。本文以简明扼要的方式报道了作者对反应离子镀技术的最新研究成果。1
关键词:光学薄膜 反应离子镀 镀膜 
反应离子镀TiO_2膜的聚集密度的测定
《光电子.激光》1993年第3期144-144,共1页王建成 谢国会 高健存 韩丽瑛 
光学薄膜反应离子镀技术是近年来新发展的一种光学薄膜技术,正在受到国内外的关注,传统的反应蒸发工艺制备的光学薄膜呈显著的柱状结构,表面粗糙等缺陷;而反应离子镀工艺制备的光学薄膜,牢固度、致密度、表面光洁度等光机性能均有明显...
关键词:反应离子镀 光学薄膜 工艺制备 聚集密度 反应蒸发 薄膜技术 柱状结构 表面粗糙 物理系 致密度 
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