谢国会

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反应离子镀TiO_2膜的聚集密度的测定
《光电子．激光》1993年第3期144-144,共1页王建成 谢国会 高健存 韩丽瑛 
光学薄膜反应离子镀技术是近年来新发展的一种光学薄膜技术,正在受到国内外的关注,传统的反应蒸发工艺制备的光学薄膜呈显著的柱状结构,表面粗糙等缺陷;而反应离子镀工艺制备的光学薄膜,牢固度、致密度、表面光洁度等光机性能均有明显...
关键词：反应离子镀 光学薄膜 工艺制备 聚集密度 反应蒸发 薄膜技术 柱状结构 表面粗糙 物理系 致密度 
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