A DC-to-32GHz 2Bit MEMS Phase Shifter  

一个DC-32GHz两位微机械移相器(英文)

作　　者：娄建忠[1] 赵正平[2] 杨瑞霞[2] 吕苗[3] 胡小东[3] 

机构地区：[1]河北大学电子信息工程学院,保定071002 [2]河北工业大学信息学院,天津300130 [3]河北半导体研究所微米纳米中心,石家庄050051

出　　处：《Journal of Semiconductors》2004年第11期1386-1390,共5页半导体学报（英文版）

摘　　要：A two-bit phase shifter with distributed microelectromechanical system (MEMS) transmission line (DMTL) is developed,and a novel structure which be actuated by coplanar waveguide transmission line (CPW-actuation structure) is proposed,which can reduce the actuation voltage significantly.The measured result,with actuation voltage less than 20V,0°/20.1°/41.9°/68.2° phase shift and -1.2dB insert loss at 20GHz,is demonstrated,and insertion loss/return loss is better than -1.8dB/-11dB from DC to 32GHz.The experimental results highlight the potential of a low-loss and broadband digital MEMS phase shifter on a high-permittivity substrate.采用分布式微机械传输线结构实现了两位移相器 ,并且为了减小传输线负载电容和驱动电压首次提出了用共面波导传输线来驱动微机械桥的结构 (共面波导驱动结构 ) .结果显示驱动电压小于 2 0 V,2 0 GHz时两位移相器的相移为 0°/ 2 0 .1°/ 4 1.9°/ 6 8.2°,插入损耗为 - 1.2 d B.在 DC到 32 GHz的范围内相移具有良好的线性 ,插入损耗小于 - 1.8d B,反射损耗好于 - 11d B.实验结果表明了该结构在高介电常数衬底上制造低插损。

关 键 词：MEMS phase shifter CPW-actuation structure 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]