声表面波马达  

Surface Acoustic Wave Motor

作　　者：周广华[1] 刘景全[1] 杨斌[1] 黄水华[1] 

机构地区：[1]上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030

出　　处：《电子工艺技术》2004年第6期231-233,268,共4页Electronics Process Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50205017)。

摘　　要：给出了超声马达的新进展—声表面波马达。由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点。本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨。New development of ultrasonic motor,surface acoustic wave motor is introduced. Because its driving signal is surface acoustic wave, thus it overcomes the shortcomings of complex structure, difficult fabrication and miniaturization in normal ultrasonic motor. Several surface acoustic wave motors are given native and abroad , and the future research directions are discussed. 

关 键 词：超声波马达 声表面波马达 多自由度 叉指电极 小型化 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统]