微电子工业用湿化学品的生产和发展  

Production and Development of Wet Chemicals for Microelectronic Industry

作　　者：李葰[1] 

机构地区：[1]上海市合成树脂研究所,上海200235

出　　处：《上海化工》2004年第8期32-35,共4页Shanghai Chemical Industry

摘　　要：叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、C8或C12规格的纯化方法。The wet-chemical's classification for processing of integrate circuite wafer,high-purity reagents and solvents and the methods of purification have been presented in the article.The reagents and solvents must be in accordance with the demands of SEMI C7,C8 or C12.

关 键 词：微电子工业 湿化学品 生产 发展 集成电路芯片 试剂 溶剂 

分 类 号：F416.7[经济管理—产业经济]