湿化学品

作品数：8被引量：17H指数：2
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：朱利平杨昀李葰万波更多>>
相关机构：杭州科百特过滤器材有限公司绵阳艾萨斯电子材料有限公司浙江凯圣氟化学有限公司浙江大学更多>>
相关期刊：《云南化工》《江苏氯碱》《流程工业》《微纳电子与智能制造》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-8
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
自动加标仪的研制及其在ICP-MS/MS分析电子级湿化学品痕量杂质元素中的应用被引量：1
《微纳电子与智能制造》2022年第2期78-81,共4页舒旭伟 卢水淼 夏晓峰 姚继军 梅华灯 李伟东 
随着半导体产业的高速发展,尤其近年来集成电路朝着纳米级方向不断进步,使得对衬底硅片表面洁净度要求日益严格。现阶段多采用湿法化学清洗处理硅片表面,过程涉及多步清洗并使用多种高纯试剂,如H_(2)SO_(4)、HNO_(3)、HF、H_(2)O_(2)、N...
关键词：标准加入法 电感耦合等离子体质谱(ICP-MS) 痕量元素杂质 
集成电路铝制程刻蚀后清洗液技术原理与性能提升
《功能材料与器件学报》2020年第4期244-250,共7页冯黎 蒋闯 
集成电路材料是集成电路产业发展的基础,集成电路材料国产化是我国集成电路产业发展的重要保障。其中湿化学品为集成电路材料的关键材料之一,新阳作为国产集成电路材料中的代表型企业,成功将铝制程刻蚀后清洗液SYS9070推进至国内领先制...
关键词：集成电路 清洗液 湿化学品 刻蚀率 
巨化叩开高端电子湿化学品大门
《江苏氯碱》2015年第5期20-21,共2页
近日从巨化股份全资子公司浙江凯圣氟化学有限公司获悉,该公司的一种电子湿（超纯）化学品通过了国内高端客户中芯国际、华虹宏力等的检测认定并投入实际应用。该公司生产的湿化学品产品已获得国内集成电路龙头企业的认可。
关键词：氟化学 专用化学品 分立器件 中芯国际 封装测试 光电产业 成套工艺 洁净度要求 印制电路板 检测设备 
巨化股份实施电子湿化学品项目
《江苏氯碱》2014年第1期37-38,共2页
巨化股份近日发布公告称，公司全资子公司浙江凯圣氟化学有限公司（简称“凯圣公司”）拟投资1．67亿元，实施电子湿化学品项目，建设年产0．6万吨电子级硝酸装置、0．3万吨电子级盐酸装置、1万吨电子级硫酸装置及相关配套等设施。该项...
关键词：电子级 化学品 股份 硝酸装置 盐酸装置 硫酸装置 化工产品 销售收入 
苏威在中国电子市场扩展高纯湿化学品业务
《流程工业》2010年第22期9-9,共1页
苏威集团于近日宣布，已与中方合作伙伴中化蓝天集团，共同决定为苏威的合资企业蓝苏氟化有限公司，以及中化蓝天集团的子公司浙江蓝天环保高科技股份有限公司建造一套新的电子级氟化氢生产装置，这一新型生产装置的产品将于2010年底进...
关键词：电子市场 化学品 业务 高纯 中国 生产装置 氟化氢 合作伙伴 
微电子工业对超净高纯化学品的质量要求被引量：12
《云南化工》2009年第5期35-42,共8页杨昀 
我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少。为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的...
关键词：电子级 超净 高纯化学品 高纯试剂 MOS试剂 湿化学品 工艺化学品 
微电子工业用湿化学品的生产和发展被引量：2
《上海化工》2004年第8期32-35,共4页李葰 
叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、C8或C12规格的纯化方法。
关键词：微电子工业 湿化学品 生产 发展 集成电路芯片 试剂 溶剂 
半导体制造工艺用化学药品的现状和展望被引量：2
《化工新型材料》1998年第11期3-7,12,共6页丁建良 俞亚君 
综述了半导体制造工艺用化学药品的应用、种类、作用、制法、纯度、评价技术和市场，还评论了半导体用药品现状和发展趋势。
关键词：湿化学品 金属杂质 半导体 化学药品 材料 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部