Finder-1000 X射线能谱仪在半导体陶瓷电容器制程中的应用  

Application of Finder 1000 X-ray energy dispersive spectrometer in manufacture of semiconductive ceramic capacitor

作　　者：李静 王振平 

机构地区：[1]广东南方宏明电子科技股份有限公司,广东东莞523077

出　　处：《电子显微学报》2003年第6期528-529,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：Finder-1000X射线能谱仪 EDX 半导体陶瓷电容器 表面层型半导体瓷片 表面污染黑斑 表面疵病 

分 类 号：TM53[电气工程—电器]