薄膜电阻网络稳定性和可靠性研究  

作　　者：方洁[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第43研究所，合肥230022

出　　处：《混合微电子技术》2004年第3期14-18,共5页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：本文通过对薄膜电阻网络稳定性和可靠性的研究，分析了影响薄膜电阻网络稳定性和可靠性的因素。通过在蒸发过程中合理地控制几个关键工艺参数、选择合适的热处理条件等方法，能够实现电阻网络长期稳定性和可靠性的提高。

关 键 词：网络稳定性 薄膜电阻 可靠性研究 电阻网络 关键工艺 

分 类 号：TN929.5[电子电信—通信与信息系统] TN304.055[电子电信—信息与通信工程]