薄膜电阻

作品数:193被引量:227H指数:7
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基于LM算法改进BP神经网络的薄膜电阻高精度测量
《大学物理实验》2025年第2期64-69,共6页张钰 王琰 彭正凤 马俊杰 王静 
江苏省高等学校自然科学基金(20KJB140006);南京邮电大学通达学院大学生科技创新训练计划(202413989022Y)。
在半导体工艺中,电阻测量极其关键。传统四探针法在测量薄膜的电阻时,需对范德堡函数进行非线性拟合,不仅耗时较长,且精度较差。针对该现象提出了一种基于Levenberg-Marquardt(LM)算法的Back propagation neural network(BPNN)神经网络...
关键词:BP神经网络 范德堡法 非线性函数拟合 电阻率测量 LM算法 
精密薄膜电阻材料研究进展
《微纳电子技术》2025年第3期68-73,共6页王攀龙 崔光宇 田广科 
国家自然科学基金(52322022)。
精密薄膜电阻材料是制作高精度薄膜电阻元件的关键材料,衡量其性能的关键技术指标是薄膜阻值精度和电阻率温度系数(TCR)绝对值。从不同薄膜材料的TCR入手,重点综述了近10年来国内外在精密薄膜电阻材料方面的研究进展,指出了目前存在的...
关键词:精密薄膜电阻器 电阻率 电阻率温度系数(TCR) 微电子技术 磁控溅射 
一种用于调节薄膜电阻均匀性的磁控溅射设备
《机械管理开发》2024年第11期146-147,150,共3页李兆营 朱景春 
在现有磁控溅射设备的基础上增加了环状供气管,供气管上平均分布8根伸缩管。通过改变伸缩管的长度来改变气体在衬底表面的分布来调整薄膜的电阻均匀性。调试时保持气体总流量不变可以保证电阻平均值基本不变。结果表明,改造后的磁控溅...
关键词:调整薄膜 磁控溅射 环状供气 电阻均匀性 
基于石英薄膜工艺的D波段固定衰减器设计及实现
《固体电子学研究与进展》2024年第4期295-301,共7页宗原 杨笔帆 成海峰 赵亮 郭健 
国防重点实验室基金项目(612502200302)。
薄膜电阻具有较为精确的电阻值,可用于微波固定衰减器设计。然而随着工作频率的升高,薄膜电阻的寄生参数随之增大,影响固定衰减器的衰减精度及回波性能。本文基于传统微波频段薄膜电阻等效电路模型,提出了一种十四元件等效电路模型。采...
关键词:太赫兹 固定衰减器 石英薄膜工艺 薄膜电阻 等效电路模型 
钨镍共掺杂V_(2)O_(5)薄膜的光电特性研究
《光学仪器》2024年第3期65-72,共8页王兴萍 李毅 庄嘉庆 闫俊屹 梅金城 
教育部科学技术研究重点项目(207033);上海市科学技术委员会科技攻关计划(06DZ11415);上海市教育委员会科研创新计划重点项目(10ZZ94);上海市领军人才培养计划(2011-026)。
利用溶胶–凝胶旋涂法和后退火工艺在FTO导电玻璃上制备了钨镍共掺杂V_(2)O_(5)薄膜,研究了薄膜在不同温度和不同偏压下的光电特性和相变特性。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)测试了钨镍共掺杂V_(2...
关键词:钨镍共掺杂 V_(2)O_(5)薄膜 溶胶–凝胶 热致相变 光学透过率 薄膜电阻 
星用微波集成电路TaN薄膜电阻的功率耐受值研究
《空间电子技术》2024年第1期33-38,共6页张楠 王平 杨钊 
国家重点实验室基金项目(编号:6142411552214)。
氮化钽(tantalum nitride,TaN)薄膜电阻电路是星载放大器、功分器等典型产品中必不可少的组成部分。在较大功率信号施加的条件下,TaN埋嵌电阻部位热效应较强,出现电路失效或烧毁的可能性也较其他部位大。星载微波单机应用环境条件恶劣,...
关键词:氮化钽 薄膜电路 功率密度 
高阻值密集平面电阻的失效分析
《印制电路信息》2023年第7期46-53,共8页王红月 胡菊红 陈晓峰 
埋嵌平面电阻印制电路板(PCB)使整板高密度化及微型化,具有提高系统功能可靠性、改善信号的传输及电器性能的特点。对一款埋嵌高阻值密集平面薄膜电阻的埋阻板展开研究,以采用Ohmega-ply 250Ω方阻的高阻值铜箔制作密集长电阻的电阻图...
关键词:高阻值 埋置电阻板 平面薄膜电阻 失效分析 
工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能的影响
《表面技术》2023年第4期381-389,共9页谢贵久 杨斌 张月鑫 张璐 季惠明 
目的 围绕氢气传感器在航天领域生命保障系统、氢燃料电池汽车领域能源供给系统等领域氢气泄露检测的迫切需求,针对在实际工况下工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能影响尚不清楚的问题,研究不同应用场景下工作温度对Pd-Ni合金氢敏电...
关键词:工作温度 薄膜氢气 氢敏 Pd-Ni合金 假零点 
搞清这个噪声 这两类电阻就容易选了
《世界电子元器件》2023年第2期18-18,共1页
问:薄膜电阻与厚膜电阻-电流噪声比较电流噪声是我们不希望的宽频谱信号,可以叠加在任何有用的信号上,包括DC直流信号。与其他无源元件一样,电阻也是不同程度的噪声源,具体取决于电阻值、温度、施加电压和电阻类型。下面就从电流噪声的...
关键词:薄膜电阻 厚膜电阻 电流噪声 直流信号 无源元件 噪声源 电阻值 
钽氮化合物电阻薄膜的研究进展被引量:1
《真空》2022年第6期34-39,共6页杨曌 付振晓 沓世我 王鑫豪 姚日晖 宁洪龙 
广东省重点领域研发计划(2020B010183002);广东省基础与应用基础研究重大项目(No.2019B030302007);中央高校基本科研业务费专项资金(2020ZYGXZR060);季华实验室自主立项项目“AM-Micro/Mini LED大尺寸显示器关键技术研究”(X190221TF191);2021年广东大学生科技创新培育专项资金(“攀登计划”专项资金pdjh2021b0036);大学生创新创业训练计划项目(No.S202110561184);国家高新技术研究发展计划项目(2013AA712032)。
钽氮化合物薄膜材料具有电阻温度系数小、化学稳定性高、功率耐受性好和阻值可调范围大等优点,是高性能电阻薄膜的优选材料。本文综述了钽氮化合物薄膜材料的研究进展,从材料的制备工艺参数、后处理方式、微观相结构和元素掺杂等出发,...
关键词:电子功能薄膜 钽氮化物 薄膜电阻 物相 
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