薄膜电路

作品数：76被引量：73H指数：5
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不同表面状态的氮化铝薄膜电路制备研究
《广州化工》2025年第1期73-77,共5页赖辉信 
氮化铝陶瓷是薄膜电路常用的主要基材,常见的产品分类有薄膜电阻器、薄膜功分器、薄膜衰减器、通孔薄膜电路等,其中电阻器是其中的一个大分类。对于薄膜电阻器而言,耐功率是一项重要参数。耐功率通常指直流功率和射频功率两种,但因射频...
关键词：薄膜工艺 氮化铝陶瓷制备 粗糙度 线缝宽精度 表面状态 
星用微波集成电路TaN薄膜电阻的功率耐受值研究
《空间电子技术》2024年第1期33-38,共6页张楠 王平 杨钊 
国家重点实验室基金项目(编号:6142411552214)。
氮化钽(tantalum nitride,TaN)薄膜电阻电路是星载放大器、功分器等典型产品中必不可少的组成部分。在较大功率信号施加的条件下,TaN埋嵌电阻部位热效应较强,出现电路失效或烧毁的可能性也较其他部位大。星载微波单机应用环境条件恶劣,...
关键词：氮化钽 薄膜电路 功率密度 
陶瓷薄膜电路生产工艺简述被引量：1
《广州化工》2023年第24期7-9,共3页赖辉信 
简述了陶瓷薄膜电路生产工艺的主要流程。制备薄膜的关键工艺会影响陶瓷与金属复合膜层之间的结合力,结果体现在使用终端的严重致命失效。例如研磨抛光工艺稳定性会影响陶瓷表面状态从而导致陶瓷与金属粗糙度的差异过大;磁控溅射线列式...
关键词：薄膜电路 研磨抛光 磁控溅射 图形刻蚀 
基于JC-Z05石英的薄膜电路基板工艺适用性研究被引量：1
《宇航材料工艺》2023年第2期49-54,共6页张楠 王平 何凯晨 王婷婷 赵炜 任联锋 
为满足低损耗的设计需求,太赫兹微波组件中一般使用熔融石英基板。不同于光学系统对熔融石英材料的要求,应用于太赫兹等高频段微波组件的熔融石英基板材料不仅需要具备稳定的介电性能,还需要更优异的表面镀膜特性与电路图形、外形等加...
关键词：太赫兹 石英基板 薄膜电路 
薄膜有机集成电容的制作工艺被引量：2
《电子工艺技术》2022年第2期71-73,80,共4页张健 王春富 王贵华 王文博 李彦睿 秦跃利 
以PI-5型聚酰亚胺(PI)电子涂料为介质层,在99瓷氧化铝陶瓷基片表面通过磁控溅射、光刻、电镀、蚀刻等传统薄膜电路工艺制作有机集成电容。分别研究了PI旋涂转速、旋涂时间、热处理制程等参数对PI厚度和均匀性的影响,最终通过优化过程工...
关键词：聚酰亚胺(PI) 有机电容 薄膜电路 集成无源器件(IPD) 
基于石英基片的W频段微带平行耦合滤波器研究
《现代信息科技》2021年第24期59-61,64,共4页蔡喆 
文章介绍了一种应用于W频段的新型微带平行耦合滤波器。由于采用低损耗的石英基片,该滤波器成为W频段集成化低损耗带通滤波器。实测结果表明:该滤波器在4.8 GHz的带宽内,损耗优于2 dB,驻波比优于2,对偏离中心频率12.2 GHz的下边带信号...
关键词：W频段 平行耦合微带线 薄膜电路 石英基片 
基于T形阳极GaAs肖特基二极管薄膜集成电路工艺的664 GHz次谐波混频器被引量：2
《红外与毫米波学报》2021年第5期634-637,共4页牛斌 钱骏 范道雨 王元庆 梅亮 戴俊杰 林罡 周明 陈堂胜 
Supported by the national key R&D program of China(2018YFF0109301)。
报道了用于冰云探测的基于0.5μm T形阳极砷化镓肖特基二极管薄膜集成电路工艺664 GHz次谐波混频器。为降低器件寄生参数,提升太赫兹频段电路性能,设计并分析了了T形阳极GaAsSBD器件结构,开发了厚度仅5μm的薄膜电路工艺。混频器芯片组...
关键词：砷化镓肖特基二极管 薄膜电路 次谐波混频器 
宽带小型化限幅放大器设计
《太赫兹科学与电子信息学报》2021年第4期684-687,共4页吕俊材 吕立明 曾荣 
基于共集共基电路的宽带小型化限幅放大器设计,利用三极管发射结特有的IV特性,将输入三极管工作在共集组态,并在后级级联共基组态三极管,实现输入信号非饱和削波,达到限幅目的。由于共集与共基放大电路都具有宽带特性,故其级联后电路特...
关键词：限幅放大器 共集共基电路 宽带放大器 薄膜电路 
微波薄膜电路镀金层加厚工艺被引量：1
《电子工艺技术》2021年第2期106-109,共4页王殿 郝鹏飞 
作为微波薄膜电路的主要基材,陶瓷基板在经过光刻镀金后通常会进行镀金层加厚工艺以保证电路性能以及后续工序的开展。在对电路加厚工艺和设备结构研究的基础上,提出了电镀电源、电镀溶液组分、电镀夹具以及镀槽结构等设计要求,以满足...
关键词：微波薄膜 LTCC 脉冲电源 镀金加厚 
宽带小型化微带均衡器设计被引量：3
《微波学报》2020年第4期60-62,77,共4页林庆庆 朱伟强 牛佳伟 
功率放大模块在工作频带内存在增益波动的情况,目前较为理想的解决方案是在原传输网络中添加一个增益均衡网络,该均衡网络就是增益均衡器。文章针对2~6 GHz功放模块增益波动较大的问题,设计和制造了一种采用微带电路的小型化均衡器,其...
关键词：增益均衡器 陷波器 功率放大器 微带传输线 薄膜电路 小型化 
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