纳米硅薄膜的扫描隧道显微镜研究  

作　　者：王忠怀[1] 戴长春[1] 张平城[1] 白春礼[1] 何宇亮[2] 

机构地区：[1]中国科学院化学研究所,北京100080 [2]北京航空航天大学非晶态物理研究室,北京100083

出　　处：《科学通报》1993年第21期1953-1955,共3页Chinese Science Bulletin

基　　金：国家自然科学基金;中国科学院重大资助项目

摘　　要：纳米硅薄膜(nc-Si:H)是由纳米尺寸超细微晶粒构成的一种纳米材料。其晶粒所占体积百分比为50％,其它50％则为大量晶粒之间的界面原子所占据,而界面对纳米材料的结构和物性具有重要作用。由于纳米硅薄膜结构上的新颖性,使它具有一系列不同于同类物质晶态材料或非晶态材料的特殊性能,有利于在器件中的应用。

关 键 词：STM 硅 薄膜 纳米硅 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]