TDR-ZY40C型中压单晶炉的研制  

Research and Manufacturing of the TDR-ZY40C Single Crystal Growth Furnace

作　　者：高利强[1] 张红勇[1] 

机构地区：[1]西安理工大学,陕西西安710048

出　　处：《电子工业专用设备》2004年第12期69-72,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了TDR-ZY40C型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。The paper introduces the design ideas and principium of the ZY40C single crystal growth furnace according to the special technics of crystal' growing, interprets main structure and characteristic of the equipment ZY40C.

关 键 词：单晶炉 结构 中压 

分 类 号：TF806[冶金工程—有色金属冶金]