高利强

作品数：9被引量：15H指数：2
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发文主题：单晶炉机械传动TDR直拉法氧化物晶体更多>>
发文领域：冶金工程机械工程金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《机械设计与制造》《电子工业专用设备》《真空》《机械传动》更多>>
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双段式加热锗单晶生长设备的结构设计
《电子工业专用设备》2008年第2期11-14,共4页原洛渭 高利强 
锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料,锗单晶的生长广泛采用的是CZ(直拉)法,其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等。
关键词：锗单晶 双段式加热 单晶炉 
提拉法单晶炉室与抽真空充气系统被引量：1
《真空》2007年第5期52-54,共3页高利强 原洛渭 
炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构。然后根据...
关键词：单晶炉 直拉法 炉室 真空与充气系统 
单晶炉机械传动系统综述被引量：6
《机械传动》2005年第6期75-78,共4页高利强 
机械传动系统是单晶炉的重要组成部分,它主要包括坩埚升降与旋转系统、籽晶升降与旋转系统等等。本文详细论述了这两种传动系统的典型方案及其传动机理,最后阐明各单晶体生长方法所要求的传动系统。
关键词：单晶炉 机械传动 升降与旋转 
T46X型硒镓银单晶炉的研制被引量：1
《电子工业专用设备》2005年第3期28-30,45,共4页高利强 王建春 楚波 
介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
关键词：单晶炉 结构 BS法 炉室上升 
炉室上升式BS法单晶炉的设计
《机械设计与制造》2005年第6期4-5,共2页高利强 王建春 楚波 
这里介绍了炉室上升式BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
关键词：单晶炉 结构 BS法 炉室上升 
TDL-Ta60型单晶炉的研制被引量：1
《电子工业专用设备》2005年第1期71-74,共4页高利强 王庆 王建春 董淑梅 
介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
关键词：单晶炉 结构 直拉法 线圈升降 
TDR-ZY40C型中压单晶炉的研制
《电子工业专用设备》2004年第12期69-72,共4页高利强 张红勇 
介绍了TDR-ZY40C型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
关键词：单晶炉 结构 中压 
TDR-Y60A型氧化物单晶炉的研制被引量：5
《电子工业专用设备》2000年第2期56-59,共4页董淑梅 梁秀梅 赵逸谦 高利强 
简要介绍TDR -Y6 0A型氧化物单晶炉的设计思路 ,传动原理及结构设计。
关键词：单晶炉 氧化物晶体 谐波 
单晶炉真空系统的除尘技术被引量：1
《真空》1999年第6期38-41,共4页高利强 
本文介绍除尘器在真空系统中的作用、除尘机理及过程；详尽阐述单晶炉真空系统的除尘技术。
关键词：单晶炉 除尘器 真空系统 除尘机理 除尘过程 
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