炉室上升式BS法单晶炉的设计  

Design of the hearth ascending BS method single crystal growth furnace

作　　者：高利强[1] 王建春[1] 楚波[1] 

机构地区：[1]西安理工大学,西安710048

出　　处：《机械设计与制造》2005年第6期4-5,共2页Machinery Design & Manufacture

摘　　要：这里介绍了炉室上升式BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。The paper introduces the design ideas and principium of the hearth ascending BS method single crystal growth furnace according to the special technics of crystal' growing, interprets main structure and characteristic of the equipment.

关 键 词：单晶炉 结构 BS法 炉室上升 

分 类 号：TG155.1[金属学及工艺—热处理]