锗单晶

作品数:65被引量:103H指数:5
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大尺寸超高纯锗单晶的生长和性能研究
《人工晶体学报》2025年第1期34-39,共6页赵青松 牛晓东 顾小英 狄聚青 
2022—2023年度核能开发科研项目高纯锗能谱仪工程化技术研究(HNKF202224(28))。
高纯锗探测器具有分辨率高、探测效率高、稳定性好等优点,应用越来越广泛,但是其关键原材料超高纯锗单晶需要满足极高的纯度和晶体结构要求,制备难度很大。国内超高纯锗单晶制备技术仍不成熟,制备的晶体质量仍不够高。利用直拉法和自制...
关键词:锗探测器 超高纯锗单晶 霍尔测试 净载流子浓度 位错密度 深能级杂质浓度 
锂玻璃探测器^(6)Li原子数标定
《强激光与粒子束》2024年第12期102-108,共7页安力 肖军 王新华 谢雷 蒋励 杨杰成 郭海萍 韩子杰 
在聚变包层中子学性能的实验检验中,造氚率是重要的测量参数之一,探测器中^(6)Li原子数目作为计算造氚率的归一化因子,是决定测量结果精度的关键因素,必须进行精确标定。对^(6)Li原子数标定原理、实验配置及过程、不确定度量化方法进行...
关键词:锗单晶单色器 中子通量密度 锂玻璃探测器 ^(6)Li原子数 造氚率 
王守武:中国半导体科学事业的“拓荒者”
《智慧中国》2024年第9期52-53,共2页陈丽娟 吕科伟 
王守武是我国半导体研究的“拓荒者”、半导体事业的奠基者之一。他在研究与开发中国半导体材料、半导体器件及大规模集成电路方面作出了重要贡献,是我国第一台单晶炉、第一根锗单晶、第一只锗晶体管、第一只激光器的研制者与组织领导...
关键词:组织领导者 半导体器件 半导体材料 少年时期 锗单晶 王守武 半导体研究 单晶炉 
镓硼共掺对6英寸VGF法锗单晶电阻率均匀性的影响
《半导体技术》2024年第8期708-712,725,共6页张颖武 边义午 陈晨 周春锋 王云彪 兰天平 
由于杂质分凝效应,镓掺杂垂直梯度凝固(VGF)法锗单晶的电阻率分布不均匀,理论上利用镓和硼分凝系数的差异,镓硼共掺工艺可以提升锗单晶电阻率均匀性。采用镓硼共掺工艺制备了6英寸(1英寸≈2.54 cm)VGF法锗单晶,对比分析了掺杂工艺对锗...
关键词:6英寸 垂直梯度凝固(VGF)法 锗单晶 镓硼共掺 电阻率 均匀性 
13N超高纯锗单晶的制备与性能研究被引量:1
《人工晶体学报》2024年第3期497-502,共6页顾小英 赵青松 牛晓东 狄聚青 张家瑛 肖溢 罗恺 
国家重点研发计划(2021YFC2902805);2022年核能开发科研项目(HNKF202224(28))。
13N超高纯锗单晶是制作超高纯锗探测器的核心材料。本文通过还原法获得还原锗锭,再由水平区熔法提纯获得12N高纯锗多晶,最后由直拉法生长得到13N超高纯锗单晶。通过低温霍尔测试、位错密度检测、深能级瞬态谱(DLTS)测试对13N超高纯锗单...
关键词:锗单晶 探测器 迁移率 载流子浓度 位错密度 
低位错锗单晶片的表面位错腐蚀研究被引量:4
《稀有金属》2022年第8期1118-1124,共7页张路 霍承松 马远飞 马会超 林泉 冯德伸 
河北省科技计划项目(19011111Z)资助。
锗单晶在红外以及空间太阳能电池都有广泛应用。目前,超过90%的空间电源都是锗基太阳能电池,使得低位错锗单晶成为空间太阳能电池的基础材料。太阳能电池使用的锗单晶要求位错密度低于1000 cm^(-2),高效电池甚至要求单晶位错密度低于300...
关键词:锗单晶 位错密度 抛光 腐蚀 偏离角度 
锗单晶在酸性SiO_(2)抛光液条件下的抛光机理及加工工艺被引量:3
《压电与声光》2022年第3期467-470,473,共5页杲星 顾跃 夏卫东 董鸿林 甘禹 徐扬 丁雨憧 
该文研究了化学机械抛光(CMP)条件下,锗单晶在含HNO_(3)的SiO_(2)抛光液中的腐蚀过程。通过改变抛光时间,分析锗单晶表面状态的变化规律。结果表明,在SiO_(2)抛光液pH值为1~2时,SiO_(2)抛光液中存在Si—OH和Si—O-形式;锗单晶先与HNO_(3...
关键词:锗单晶 化学机械抛光 抛光液 粗糙度 
王守武:做强“半导体”
《创新世界周刊》2021年第8期72-73,共2页丁以山 
在国内半导体研究领域,王守武的"咖位"极高。研发第一台拉制半导体锗材料的单晶炉,成功拉制第一根锗单晶,成功生产第一批锗合金结晶体管,组建第一条完全自主的大规模集成电路生产线……这一项项科学成果,正推动着中国半导体行业稳步走...
关键词:走向世界 半导体行业 锗单晶 王守武 半导体研究 单晶炉 半导体锗 江苏苏州 
6英寸低位错锗单晶生长热场设计被引量:1
《人工晶体学报》2021年第6期979-986,共8页陈晨 赵堃 韩焕鹏 
国家技术基础科研项目(1905XX000)。
锗片作为衬底材料已在空间太阳电池领域得到广泛的应用,新型锗基空间太阳能电池对锗片的需求由4英寸(1英寸=2.54 cm)提高到6英寸后,低位错锗单晶的生长难度增大。本文设计开发了一种适用于直拉法生长大尺寸、低位错锗单晶的双加热器热...
关键词: 单晶生长 热场 加热器 温度梯度 位错密度 
锗单晶材料的发展现状被引量:6
《红外技术》2021年第5期510-515,共6页董汝昆 吴绍华 王柯 尹国良 史娜娜 姚杨 郭晨宇 
锗因其资源稀缺、优异的光学和物理性能,广泛应用于光纤系统、红外光学系统、电子和太阳能应用、探测器等高科技领域,是战略性产业所需的重要功能材料和结构材料。简单介绍了目前国内锗单晶生长的两种主要方法:直拉法(Czochralski,CZ)...
关键词: 锗单晶 直拉法 垂直梯度凝固法 
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