单晶炉真空系统的除尘技术  

Dust Handling Technology for Vacuum System of Single Crystal Growing Furnace

作　　者：高利强[1] 

机构地区：[1]西安理工大学,陕西西安710048

出　　处：《真空》1999年第6期38-41,共4页Vacuum

摘　　要：本文介绍除尘器在真空系统中的作用、除尘机理及过程；详尽阐述单晶炉真空系统的除尘技术。This article introduces the action of ash separator on vacuum system, dust handling mechanism and procedure of that; and details the dust handling technology for the vacuum system of single crystal growing furnace.

关 键 词：单晶炉 除尘器 真空系统 除尘机理 除尘过程 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]