TDR-Y60A型氧化物单晶炉的研制  

作　　者：董淑梅[1] 梁秀梅[1] 赵逸谦[1] 高利强[1] 

机构地区：[1]西安理工大学,陕西西安710048

出　　处：《电子工业专用设备》2000年第2期56-59,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：简要介绍TDR -Y6 0A型氧化物单晶炉的设计思路 ,传动原理及结构设计。

关 键 词：单晶炉 氧化物晶体 谐波 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]