半导体集成电路设备的新发展  

作　　者：蒋迪宝[1] 

机构地区：[1]北京七星华创电子股份有限公司100016

出　　处：《集成电路应用》2002年第9期1-4,共4页Application of IC

摘　　要：2001年全球半导体集成电路大幅衰退，比2000年下降了33％，营收为1390亿美元。这种大衰退比人们预料的下降22％多出50％。现在人们在冷静中注意到半导体集成电路市场，即电子信息产业在2001年也下降了10％，这是电子信息产业的第一次下降。用于电子信息产业的CPU、DRAM、Logic电路、flash、DSP、

关 键 词：半导体 集成电路技术 设备 市场分析 短沟道效应 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学] F407.63[经济管理—产业经济]