数字化技术在玻璃表面检测系统中的应用  

Research of a System to Inspect Surface of Optical Plane Glass With Quantizing Technique

作　　者：莫卫东[1] 高伯龙[2] 

机构地区：[1]空军工程大学工程学院,陕西西安710038 [2]国防科技大学应用物理系,湖南长沙410073

出　　处：《空军工程大学学报（自然科学版）》2000年第5期1-4,共4页Journal of Air Force Engineering University(Natural Science Edition)

基　　金：国家"863"激光陀螺研制项目

摘　　要：通过把传统光学方法与现代数字化图像技术相结合 ,运用先进的数字化图像处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图像的计算 ,并应用自己在理论研究上的突破 ,从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定。利用本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了 λ/1 0 0 ,灵敏度为 λ/1 0 0The research is to unite the traditional optical method with the modern quantizing image technique ,and to calculate interferogram using the advance quantizing image processing means and fitting interferogram method with Zernike polynomials so that the evenness and other technical parameters of surface of optical plane glass can be quickly and precisely measured. Using the results of the research in the system to inspect the surface of plane glass , the precision of the system is about λ /100 and sensitivity reaches about λ/1000 .

关 键 词：干涉仪 数字图像处理 Zernike多项式拟合 平面玻璃表面 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]