固态模块在粗抽泵系统中应用  

The Application of Solid-State Module in Roughing Pump System

作　　者：俞鸣峰[1] 

机构地区：[1]中国科学院近代物理研究,730000

出　　处：《电工技术》2002年第7期49-50,共2页Electric Engineering

摘　　要：介绍固态电子模块在一种控制粗抽泵系统运行电路设计中的应用及该电路原理。同时介绍一种能在断电瞬间,利用不同电器暂态过程的时差改变步进双稳态继电器锁定状态的保护电路。

关 键 词：激光干涉仪 粗抽泵系统 硬件控制电路 电路设计 固态电子模块 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程] TN6[机械工程—仪器科学与技术]