磁致伸缩微位移工作台的新型定位方法  

New Orientation Method of Magnetostrictive Micro-displacement Working Table

作　　者：李恒菊[1] 李银祥[1] 邓志刚[1] 姚向东[1] 张立军[1] 

机构地区：[1]武汉理工大学材料学院,湖北武汉430070

出　　处：《磁性材料及器件》2005年第1期29-31,共3页Journal of Magnetic Materials and Devices

摘　　要：稀土超磁致伸缩材料广泛应用于传感器、执行器。本文介绍了我们研制的一种磁致伸缩微位移工作台的结构、运动原理以及新型精密定位控制方法,即电磁式吸紧定位。实验测量微位移最小分辨率达2nm。整个微位移工作台结构简单,位移分辨率高,且能够实现双向可控运动。Rare-earth giant magnetostrictive material (GMM) is widely used in sensors and executors. This article introduces the structure, motion principle and the new control method of accurate orientation of magneto- strictive micro-displacement working table we developed. The minimum resolution of micro-displacement is 2nm. The working table has a simple structure, high resolution of displacement, and can achieve two-way motion.

关 键 词：磁致伸缩 微位移 定位 控制系统 

分 类 号：TP212.13[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]