第二代硅微电子技术基础—SiGe微结构器件与工艺  

作　　者：许居衍 

出　　处：《微电子技术》1993年第1期1-6,共6页Microelectronic Technology

关 键 词：微电子技术 SIGE 微结构器件 工艺 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]