微结构器件

作品数：7被引量：20H指数：2
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：黄向东谭久彬李运涛任鲁风俞育德更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学清华大学桂林电子科技大学湖州中科光电技术有限公司更多>>
相关期刊：《微电子技术》《中国机械工程》《微细加工技术》《机床与液压》更多>>
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微细电解铣削加工技术研究进展及展望被引量：2
《机床与液压》2023年第8期145-149,共5页赵斐 牛屾 王思儒 刘现春 宫三朋 
中国博士后科学基金(2020M682289);河南省重点研发与推广专项(222102220001,212102210056);河南省高校基本科研业务费专项资金资助项目(NSFRF21038);河南省高等学校重点科研项目计划(21A460016);河南理工大学博士基金(B2020-30)。
微细电解铣削加工技术具有工具电极无损耗、加工柔性高、与工件材料硬度无关等特点,在金属微结构器件制造领域展现出极具诱惑力的应用前景。通过综合国内外文献资料,按照不同的电解液供给方式介绍微细电解铣削加工技术的研究进展,分析...
关键词：微细电解铣削加工 工具电极 金属微结构器件 
零模波导原理、制备及其在单分子荧光检测中的应用被引量：4
《生物技术进展》2015年第1期10-21,F0003,共13页魏清泉 李运涛 任鲁风 周晓光 俞育德 
国家自然科学基金项目(31200643;61275064)资助
单分子荧光检测作为一种能够表征分子个体性质及行为的分析方法,有助于揭示利用传统荧光检测方法无法得到的信息,在近年来受到人们的广泛关注。利用传统光学检测设备进行单分子荧光检测时,由于受到衍射极限的限制,同时为了保证在观测体...
关键词：零模波导 单分子 纳米微结构器件 
应用于单分子测序的纳米微结构器件被引量：1
《物理》2012年第7期467-471,共5页李运涛 任鲁风 周晓光 于军 俞育德 
国家自然科学基金青年基金(批准号:61007033)资助项目;中国科学院科研装备研制项目(批准号:YZ200823)
基因测序技术是现代最为重要的生物医学研究手段之一,单分子测序技术作为最新一代测序技术被广泛研究,并形成了微纳制造、光电子、微流控和分子生物学等多学科的交叉探索和多种技术创新的有机结合.文章系统总结了应用于单分子测序的纳...
关键词：单分子测序 纳米微结构器件 
基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究被引量：11
《中国机械工程》2006年第21期2216-2220,共5页明平美 朱荻 胡洋洋 曾永彬 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2004214)
试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明:采用优化后的UV-LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流...
关键词：UV—LIGA 微结构器件 SU-8胶 光刻 微细电铸 
论微电子机械系统MEMS
《西安航空技术高等专科学校学报》2004年第3期32-34,共3页鄢云 
简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;
关键词：微电子机械系统 集成 微传感器 微执行器 微结构器件 微系统 
提高抗激光烧蚀能力的表面尖形微结构器件被引量：1
《微细加工技术》2001年第2期67-70,共4页张新宇 汤庆乐 张智 裴先登 
2000年中国博士后科学基金资助项目;湖北省自然科学基金资助项目!(2 0 0 0JI50 )
讨论了光刻热熔成形工艺灰度掩模技术结合离子束蚀刻制作面阵尖形微结构器件的问题 ,分析了几种凸尖及凹尖结构抗入射激光烧蚀的能力强于平面端面同质器件的原因 ,所作的若干分析结果可用于这类器件的实际制作和应用。
关键词：尖形微结构 离子束蚀刻 抗激光烧蚀 能力 微结构器件 
第二代硅微电子技术基础—SiGe微结构器件与工艺被引量：1
《微电子技术》1993年第1期1-6,共6页许居衍 
关键词：微电子技术 SIGE 微结构器件 工艺 
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